集成MEMS微振镜的3D相机，让智能装备看得“清”
日期：2023-05-22 06:16:31
来源：面包芯语
(相关资料图)
▲左上：高精度MEMS微振镜芯片；右上：模组（部分）；下：投影模块。受访单位 供图
而这“眼睛”的制造者之一，就是北京理工大学重庆微电子研究院的科研人员。
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